超精密機器 HOME 超精密機器 ステージ ステージはソディック製リニアモータ・リニアアンプが組み込まれ、ソディック製ワイヤ放電加工機や超精密マシニングセンタに使用されています。 超精密セラミックス エアスライドXYθ軸ステージ θテーブルに黒色コージェライト採用 光化学系装置の反射率低減や、ステージ機構の位置決め精度に効果。 低重心 独自の機構による低重心構造と固定部質量比大／可動部重心駆動による高い運動性能。 低熱膨張・軽量 テーブル部、スライダ部にコージェライト、リニアモータ、マグネットプリロードに低熱膨張金属を採用。長時間稼働による変位が出ません。 位置偏差5nm以下 内製リニアモータ、モーションコントローラにてステージとの最適化。 ステージ仕様 外形寸法W600㎜ × D550㎜ × H235㎜ ※セラミックス構成部品寸法 総重量約104㎏ ※セラミックス構造部材+リニアモータ 可動部質量θ軸 約14kg／X軸 約19㎏ ／ Y軸 約35㎏ ／ ベット部 約36㎏ θ軸仕様材料 黒色コージェライト（熱膨張率1×10⁻⁶以下） 外形寸法：300×300 精度：平面度2μm以下、位置偏差：5㎚以下 ストロークX軸 MAX120㎜ ／ Y軸 MAX160㎜／θ軸±4mm 垂直方向真直度X軸 0.5㎛ ／ 100㎜ 以下 Y軸 0.5㎛ ／ 100㎜ 以下 水平方向真直度X軸 0.5㎛ ／ 100㎜ 以下 Y軸 0.5㎛ ／ 100㎜ 以下 直角度0.5㎛ 以下 平面度X軸 浮上時：5㎛ ／ 非浮上時：3㎛ 以下 Y軸 浮上時：5㎛ ／ 非浮上時：3㎛ 以下 送り速度0.1m ／ sec・加速度0.25m／sec² ステージ位置偏差P-P：5nm以下／σ:1nm以下 位置検出方式Ｘ軸Ｙ軸ハイデンハイン製リニアエンコーダ ※X軸：＝上軸／Y軸：＝下軸 ※精度測定環境 温度：23℃±1℃／湿度：50~60％ コージェライト 熱膨張係数：0.1×10-6℃（20~25℃） 比重：2.5 セラミック製 門型XYステージ ソディックのコア技術を結集し高速・高精度・無振動門型ステージを開発しました。 完全非接触案内構造（上軸、下軸） エア静圧軸受けとコアレスリニアモータの組み合わせにより完全非接触案内構造となっています。磨耗や発塵の心配が無くサブミクロンの運動精度、姿勢精度を長期間にわたって維持します。 反力キャンセル構造 上軸には加速反力をキャンセルするカウンターテーブル構造を採用しました。高速位置決め時でも加速反力キャンセル構造により無振動で高精度位置決めが可能です。 ナノレベルの位置制御を実現 超精密加工機や高精度放電加工機で多くの実績をもつソディック高速モーションコントロール(SLMC)制御を採用しています。 精密構造部材 熱変位が極めて少ないセラミックスは、その特徴を活かし超精密加工機のコアとなる部品に使用されています。
