微細穴・ドット加工

超微細加工

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50μm穴 1000個

アクリルの表面をダイヤモンドバイトで引き加工し、平面度及び面粗さをナノレベルにした後、4㎜×4㎜の範囲に微細穴加工を行いました。

 加工内容 

■ワーク :アクリル
■機  械:AZ150(回転数120,000min-¹)
■穴  径:φ0.05㎜
■穴深さ :0.3㎜
■使用工具:φ0.05㎜ドリル

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30μm 100個

アクリル樹脂への微細ドリル加工。
主軸振れ精度0.1μm以下の超高速120000回転エアー主軸と、非接触レーザー式工具長・径測定装置により小径のドリルを使用した正確な穴加工が可能になります。

 加工内容 

■ワーク :アクリル樹脂
■機  械:AZ150 回転数120,000min-¹
■穴  数:100穴
■穴  径:φ30μm
■深  さ:200μm
■加工時間:4時間
■使用工具:φ0.03㎜ドリル

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ドット加工

鏡面・ドット加工
導光板の金型コア部品を想定して、微小ドットの加工を実施しました。カウンター軸を持つ機械構造のため高速で微小範囲も動作させることが出来、何万個のドット加工も安定した精度で高速に加工ができます。

 加工内容 

■ワーク  :Ni-P
■機  械 :AZ150
■ドット工具:R0.1単結晶ダイヤモンド
■天面工具 :単結晶ダイヤモンドバイト

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ピンプレス加工

自作超硬ピン(AE05使用)でSUS430厚み50μmにΦ20μmの穴90個を高速プレス加工を実施しました。35秒で90個の穴プレス加工。
Zの位置決め、X・Y高速移動位置決めが高精度で可能な為、同じ径の穴がキレイで正確に連続加工できる事を確認しています。
20μmの小径を高速でプレスするためには、 プレス時の速度、Z位置合せが必要だが、バラツキがないので、同じ精度で穴加工が出来ました。

 加工内容 

■ワーク :SUS430 厚み50μm
■機  械:AZ150 回転数120,000min-¹
■穴  数:90個
■穴  径:20μm
■加工時間:35秒
■使用工具:自作超硬工具 先端φ0.02㎜

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5μm穴加工(微細放電加工)

超微細放電加工により5μm穴加工を実施しました。
オプション機能の高解像度CCDカメラにより微細な電極成形形状が機上にて測定でき、加工後のワークも機上にて測定。電極・ワークを外さずに同じ状態で加工を繰り返す事ができるため、微細穴・溝加工の 精密な加工が可能になります。Z軸は、非接触エアーバランス構造・セラミックス製エアー静圧軸受けによる優れた真直性の実現。電極成形1.5μm以下も可能です。主軸最高回転速度3,000min-1 で回転しながら加工する事で真円穴加工が可能です。

 加工内容 

■ワーク :SUS403
■機  械:AE05
■穴  径:5μm
■使用工具:タングステン電極

三角形状

三角形、四角形、星形状などの丸以外の微細な貫通形状加工も可能。

 加工内容 

■ワーク:SUS304
■機 械:AE05
■板 厚:1㎜ 三角形状貫通
■サイズ:一辺の長さ0.18㎜
■電 極:三角形状タングステン電極

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加工例